高真空镀膜仪的真空度可达2×10-6mbar，镀膜细腻均匀，能够自动完成抽真空，镀膜，放气等全过程。

1. 压力问题

- 真空度达不到要求：可能是真空泵性能下降、漏气、阀门损坏、密封不良等引起的。

- 解决方案：检查和维修真空泵;检查管路连接和密封;修复或更换漏气部件。

2. 电源问题

- 电源不稳定或功率不匹配：可能影响溅射质量和效率。

- 解决方案：检查电源线和连接;确保电源稳定性;匹配合适的功率。

3. 溅射靶材问题

- 靶材表面不均匀或污染：导致膜层不均匀或成分不纯。

- 解决方案：清洁或更换靶材。

4. 样品问题

- 样品表面污染或未清洁：影响膜层附着。

- 解决方案：清洁样品表面。

5. 管路堵塞

- 抽气管路或冷凝器堵塞会导致真空度下降。

- 解决方案：定期清理管路和冷凝器。

6. 机械问题

- 转靶旋转不均匀或卡死：影响溅射效率。

- 解决方案：检查和修复转靶的驱动系统。

7. 膜层质量问题

- 膜层厚度不均匀、孔洞或颗粒：可能由溅射条件、靶材或样品不平稳引起。

- 解决方案：优化溅射条件;检查靶材和样品。

8. 溅射速率不稳定

- 溅射速率受多种因素影响，如真空度、溅射电流、靶材温度等。

- 解决方案：调整溅射参数;监控溅射过程中的各种条件。

9. 温度控制问题

- 靶材或样品温度失控可能导致镀膜质量受损。

- 解决方案：校准温度传感器;确保冷却系统正常工作。

10. 控制系统问题

- 控制系统故障可能导致镀膜参数错误。

- 解决方案：检查控制软件和硬件;进行必要的软件更新或硬件更换。

11. 真空室内污染

- 真空室内有油蒸汽或其他污染物，影响膜层质量。

- 解决方案：定期更换泵油;清洁真空室内壁。

12. 气体流量问题

- 溅射气体流量不稳定或不准确影响溅射过程。

- 解决方案：检查气体流量计;清洁或更换流量控制元件。

13. 电弧放电

- 可能由气体流量不足、溅射功率过高或靶材表面问题引起。

- 解决方案：调整气体流量;降低溅射功率;清洁或更换靶材。

14. 设备漏气

- 设备密封件老化或损坏可能导致漏气。

- 解决方案：检查并更换密封件。

15. 报警和安全问题

- 设备在运行过程中可能出现各种报警，需要及时处理。

- 解决方案：根据报警提示检查对应的系统，并进行必要的维修。