一般格式及数据处理如下说明（仅供参考，具体以实际测试为准，不同仪器会有差异）

测试结果给出的是图片格式和txt以及word格式测试结果。文本格式文件可以用EXCEL打开，Origin软件作图。

1、测试膜厚时，如何选择用椭偏仪还是台阶仪测试？

答：如果薄膜的成分不确定的话，使用椭偏仪和台阶仪进行薄膜厚度的测量都是可以的，一般来讲，椭偏仪的精度会高于台阶仪。因为你的薄膜成分不确定，所以首先需要用椭偏仪进行数据库的建立，之后用测得的光谱数据进行拟合，这样就可以测得未知薄膜成分的厚度。

2、理论上材料的n,k值是否会随入射角变化？变化是否有规律？ 还有为什么入射角不能太小呢？仅仅是机械的原因么？

1）n，k反应的是物质和光相互作用时表现出的宏观光学性质，对于确定的材料，只要材料的外在条件不变，此时的n、k是不变的。要说明的是：n、k是波长的函数，在很多时候还是温度的函数，对于椭偏测试中，仅改变入射角度，测量的结果应该是一样的。如果存在显著差异，主要原因是：（a）仪器的误差；（b）仪器在各角度下测量的Psi和Delta的精度不同。

2）仪器的入射角度不能太小，主要原因是：（a）不同角度下的测量精度不同，最佳的测量角度是在其布儒斯特角附近。对于常见的块状材料，如玻璃，其折射率n>1，入射角度应该大于45°；（b）在极限情况下，即入射角度为0时，椭偏测量失去了条件，此时p光和s光合二为一了，因此已无法测量；（c）当然，与仪器的机械设计也是有关系的，通常的样品（不包括金属），一般入射角度都>40°，所以厂家在设计时实际上不需要太小的角度。

3、关于测试光谱范围的选择？

椭偏仪的光谱范围在深紫外的142nm到红外33um可选。光谱范围的选择取决于被测材料的属性、薄膜厚度及关心的光谱段等因素。例如，掺杂浓度对材料红外光学属性有很大的影响，因此需要能测量红外波段的椭偏仪；薄膜的厚度测量需要光能穿透这薄膜，到达基底，然后并被探测器检测到，因此需要选用该待测材料透明或部分透明的光谱段；对于厚的薄膜选取长波长更有利于测量。