1. 图像畸变：

- 球差校正器调节不当，导致像差未被充分校正。

- 需要精确地调整球差校正器的设置。

2. 分辨率不够高：

- 跟样品厚度、电子束的聚焦质量、球差校正器工作状态有关。

- 优化样品制备方法，确保电子束的聚焦质量，并检查球差校正器的调节。

3. 仪器稳定性差：

- 温度、湿度、振动等环境因素影响。

- 保持实验室环境稳定，采取适当的减震措施。

4. 样品污染或破坏：

- 样品表面污染或在高能电子轰击下发生损伤。

- 进行样品表面处理，使用保护措施减少电子束对样品的损伤。

5. 信号噪声比低：

- 探测器性能不足或电子信号不足。

- 更换高质量的探测器，或者提高电子束强度。

6. 电子束漂移：

- 高电压不稳定或电镜内部磁场变化。

- 检查电源稳定性和电镜内部的磁场。

7. 电路问题：

- 老化或接触不良导致电路故障。

- 及时检查和维护电路连接，更换老化部件。

8. 真空度不够：

- 影响成像质量和分辨率。

- 进行真空泵和真空系统的维护和清洁，必要时更换真空泵。

9. 探测器问题：

- 探测器老化或者损坏。

- 定期校准探测器，必要时进行维修或更换。

10. 样品定位困难：

- 样品难以精确放置在电子束下。

- 使用更精确的样品台定位系统。

11. 软件控制问题：

- 图像采集或处理软件不稳定。

- 更新软件，解决兼容性问题。

12. 电子源不稳定：

- 发射不稳定导致图像质量波动。

- 定期维护电子源，包括场发射针的更换和清洁。

13. 光栅老化：

- 光栅老化导致能量分辨率下降。

- 定期更换光栅。

14. 透镜污染：

- 透镜污染导致光路改变，影响成像。

- 定期清洁透镜，使用防污染措施。

15. 色散问题：

- 色差和能量色散影响成像质量。

- 调整球差校正器，进行色差校正。