1、测试结果给出的是VGD格式和EXCEL格式测试结果。EXCEl格式文件用ORIGIN软件作图；VGD格式文件可以用Avantage分析软件打开。

2、全谱分析和窄区扫描

1、对于C窄谱要不要测？C窄谱对数据直接的影响是什么？

答：可以不测，但是都用于校正，也可以用O的531.1eV，或者金的零价标准峰进行校正。

2、有些客户不用测C，但是在peak table 里加了C元素。他能否直接C的百分扣除，直接去重新计算其他元素的百分比？还是需要复测或者用测试老师这里的机器去导出数据，重新处理？

答：可以直接去除的，不需要复测，或者重新导出也可以。

3、数据中C、N、O元素含量比实际样品的高，或没有C、N、O但是测出来了？

（1）样品吸附了空气中的污染物导致，在数据处理时，把非样品所含有的污染物的峰先分出来，剔除掉 ，再重新计算含量；

（2）如果对这个要求较严，建议后期样品制备后抽真空密封保存，测试时选择手套箱制样并测试；如果是非粉体样品，可选择刻蚀后测试。

4、样品不含有这个元素，为什么全谱测出这个元素了（除CNO）？

（1）样品理论上应该不含有，但是样品在处理过程中是有引入该元素的成分，在后续的处理过程没有完全处理干净；

（2）待测试样品是在某种基底上测试的，但待测试样品量较少，测试到了基底；

（3）被同一批次的其他样品，或者有易挥发组分（如S、F），或者进行刻蚀后，污染了该样品表面。

5、某元素含量很高大概 5%，测出来信噪比很差，而有的元素含量很低0.5%，测出来信噪比反而很好？

（1）不同元素的主峰的灵敏度因子和检测限不一样；

（2）样品分布不均匀；

（3）该元素不分布在样品表面，即不在XPS所测微区范围内。

6、所测窄谱元素，含量比为什么跟预期不符？

（1）样品表面被污染；

（2）样品分布不均匀；

（3）该元素不分布在样品表面，即不在XPS所测微区范围内；

（4）XPS是半定量分析，和元素的实际含量会有出入。

PS：XPS是一种典型的表面分析手段，用于定性及半定量分析，测试得到的仅是样品表面几百甚至几十um大小，几个nm深度的样品信息，不代表样品整体性质。

7、样品中，某元素窄谱曲线不光滑，峰刺较多，或没有测出该元素？

（1）元素含量比较低；

（2）样品分布不均匀，所测试的光斑范围内，该元素含量较少；

（3）该元素不分布在样品表面，即不在XPS所测微区范围内。

8、分峰后，某元素结合能位置不对？

（1）确认下数据是否校正（我们给的数据，一般是没有校正的数据）；

（2）分析下化学环境对该元素峰本身造成的影响，某些化学环境会导致峰有正常的偏移；

（3）确认下分峰是否正确。

9、元素的结合能测试范围和之前的不同，无法对比？

答：如果该元素的峰是完整的，可以自行截取至相同结合能范围进行对比，如果不影响分析也可以不进行截取。

10、分峰后，对应价态的峰没有？

（1）需要分峰后进行分析，并需确认分峰是否正确；

（2）全谱的能量很高，如果测不出来，可能是污染碳很高，或者测试深度范围内的含量太少（整体该价 态比较高，但是表面很少），一般是后者原因居多。

11. 样品精细谱扫出谱峰？为什么全谱里没有呢？

全谱主要是用来定性分析的，设置参数的步长比较大，含量低的在全谱里扫不出谱峰。但是精细谱扫出谱峰就表示有该元素。

12. 每种元素的检测限一样么？

不一样。每种元素的主峰的灵敏度因子都不一样。

13. 怎么判断拟合是好是坏，是拟合了两个峰算好还是拟合了三个峰算好？

看波动大小，越小越好；还要看对应的物理意义。波动如下图所示。具体拟合几个峰，要参考样品本身的情况，以及拟合的贴合度，没有严格的界定哪个更好。